基于波像差检测的光学系统面形补偿装调方法

摘要

本发明涉及一种基于波像差检测的光学系统面形补偿装调方法，该方法包括以下步骤：1)检测待装调光学系统各光学元件的面形波像差；2)根据等光程原则，判断待装调光学系统的各光学元件的面形是否存在互补，若是，则直接退出待装调光学系统的装调过程；若否，则进行步骤3)；3)对待装调光学系统各光学元件的空间位置进行调整，使其实现元件面形波像差互补。本发明提供了一种针对性强、实现迅捷、操作简便以及实用性强的基于波像差检测的光学系统面形补偿装调方法。