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机译:用衍射光斑检测光学图像质量和测量光学系统波像差的干涉仪
公开/公告号SU569845A1
专利类型
公开/公告日1977-08-25
原文格式PDF
申请/专利权人 KOROLEV NIKOLAJ VSU;
申请/专利号SU19752187630
发明设计人 KOROLEV NIKOLAJ VSU;MENSHIKOVA EVGENIYA MSU;
申请日1975-10-24
分类号G01B9/02;
国家 SU
入库时间 2022-08-23 00:18:01
机译: 用于测量表面形状的干涉仪,波前像差测量机,使用该干涉仪和机器制造投影光学系统以及用于校准该干涉仪的方法
机译: 波前像差测量方法,波前像差测量设备,成像光学系统的制造方法和曝光设备的制造方法
机译: 光学成像系统的像差测量方法,包括照亮物体结构,在像平面上产生图像输出以及对图像输出的波前进行连续的波长选择性测量