一种硅片碎料中不同材质与形状有机细屑杂质分离去除方法

摘要

一种硅片碎料中不同材质与形状有机细屑杂质分离去除方法，包括，用硫酸与硝酸配成混合液体，硫酸与硝酸比例为（7-9）：（1-3），对碎硅片进行处理，尔后用水清洗干净。具有效率高、易清洗的特点，且操作简单。可用于硅片碎料回收再利用。