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大功率LED用蓝宝石基片超精密加工技术

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本发明涉及光电子器件的加工方法技术领域，尤其是一种制备大功率发光二极管(LED)氮化镓(GaN)所用的蓝宝石衬底基片的超精密加工技术，该技术主要包含蓝宝石塑性域磨削技术、蓝宝石纳米级化学机械抛光技术；本发明还涉及蓝宝石衬底基片加工过程中使用的专用腐蚀液和抛光液，所述的专用腐蚀液由：硫酸、磷酸、硝酸构成；专用抛光液则由溶胶型SiO

著录项

公开/公告号CN102233541A

专利类型发明专利
公开/公告日2011-11-09

原文格式PDF
申请/专利权人周海;
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申请/专利号CN201010172868.1
发明设计人周海;
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申请日2010-04-24
分类号B24B37/00;H01L21/304;
代理机构
代理人
地址 224051 江苏省盐城市希望大道9号盐城工学院机械学院025信箱
入库时间 2023-12-18 03:47:24

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2013-12-11

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):B24B37/00 申请公布日:20111109 申请日:20100424

发明专利申请公布后的视为撤回
2011-11-09

公开

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