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声明
1绪论
1.1单晶蓝宝石晶体材料特性
1.2论文选题背景
1.3蓝宝石基片国内外加工现状
1.4本文主要研究内容及意义
2软磨料研磨盘的研制
2.1磨料组分的选择
2.2研磨盘结构的设计
2. 3制作工艺以及具体加工
2.4 研磨盘的修整
2. 5本章小结
3软磨料磨具加工去除机理
3.1软磨料磨具加工材料去除模型
3.2影响固相化学反应的因素
3.3软磨料研磨盘研磨性能
3.4本章小结
4软磨料砂轮磨削性能研究
4.1软磨料砂轮的研制
4.2蓝宝石基片自旋转磨削
4.3软磨料砂轮磨削性能
4.4本章小结
结论
参考文献
攻读硕士学位期间发表学术论文情况
致谢