用于测量待测量大面积表面上的薄层厚度的方法和设备

摘要

本发明涉及一种用于测量待测量大面积表面（12）上的薄层厚度的方法和设备，其中，包括至少一个传感器元件（29）以及与该传感器元件（29）相关联的至少一个接触球冠（31）的至少一个测量探头（28）被施加到待测量表面（12）以便获得测量值，其中，待测量大面积表面（12）被再分成单独的部分区域（14），针对待检查的每个部分区域（14）来确定测量点（16）的矩阵，使用承载至少一个测量探头（28）的设备（21）沿着部分区域（14）的矩阵的至少一行（17）在等距离测量点（16）处确定测量值，并且针对部分区域（14）中的矩阵中的所有行（17）接连地确定测量值并针对此部分区域（14）进行评估。