精确测量薄层厚度的同态信号处理方法

摘要

针对精确测量薄层厚度的要求，本文提出了一种新的同态信号处理的方法，这种方法在于得出被测信号能量谱ＥＳ的对数导数的付里叶反变换的包络。仿真结果表明，估计值与实际值非常相近。