公开/公告号CN103703362B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-02-15
原文格式PDF
申请/专利权人 赫尔穆特费希尔有限责任公司电子及测量技术研究所;
申请/专利号CN201280025302.3
发明设计人 H.菲舍尔;
申请日2012-05-24
分类号
代理机构中国专利代理(香港)有限公司;
代理人肖日松
地址 德国辛德尔芬根
入库时间 2022-08-23 09:51:47
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-02-15
授权
授权
2014-04-30
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 27/90 申请日:20120524
实质审查的生效
2014-04-02
公开
公开
机译: 用于测量薄层厚度的测量探头以及用于该测量探头的传感器元件的制造方法
机译: 用于测量薄层厚度的测量探头以及用于该测量探头的传感器元件的制造方法
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