使用高强度和高功率超声波增强等离子体表面改性

摘要

本发明涉及一种固体物体(100)的等离子体表面改性工艺(以及相应的系统)，其包括：通过等离子源(106)产生等离子体(104)，将等离子体(104)施加到固体物体(100)的至少一部分表面(314)，通过至少一个超声的高强度和高功率声波发生器(101)产生超声的高强度和高功率声波(102)，其中该超声波被指引朝向物体(100)的所述表面(314)传播，使得对于所述表面(314)的至少一部分，与所述固体物体(100)接触的气体或气体混合物(500)流的层流边界层被减薄或破坏。以此方式，等离子体可以更有效地到达和影响要被等离子体处理的固体物体的表面，这显著地加快了处理时间。