公开/公告号CN102197472A
专利类型发明专利
公开/公告日2011-09-21
原文格式PDF
申请/专利权人 硅绝缘体技术有限公司;
申请/专利号CN200980142148.6
申请日2009-10-09
分类号H01L21/762;H01L21/324;
代理机构北京三友知识产权代理有限公司;
代理人丁香兰
地址 法国伯涅尼
入库时间 2023-12-18 03:17:32
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-08-20
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/762 申请公布日:20110921 申请日:20091009
发明专利申请公布后的视为撤回
2011-11-23
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/762 申请日:20091009
实质审查的生效
2011-09-21
公开
公开
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