公开/公告号CN102169811A
专利类型发明专利
公开/公告日2011-08-31
原文格式PDF
申请/专利权人 东京毅力科创株式会社;
申请/专利号CN201110032742.9
申请日2011-01-27
分类号H01L21/00;H01L21/02;
代理机构北京尚诚知识产权代理有限公司;
代理人龙淳
地址 日本国东京都
入库时间 2023-12-18 03:13:16
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-11-18
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L21/00 申请公布日:20110831 申请日:20110127
发明专利申请公布后的驳回
2011-10-12
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/00 申请日:20110127
实质审查的生效
2011-08-31
公开
公开
机译: 基板加热装置,基板处理系统以及基板加热方法
机译: 基板加热装置,基板处理系统及基板加热方法
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