基板加热装置、基板处理系统以及基板加热方法

摘要

本发明使向基板涂布的涂布物稳定地固化。实施方式的基板加热装置包括：腔室，在内部形成有能够收容基板的收容空间；减压部，能够对所述收容空间的气氛进行减压；基板加热部，配置在所述基板的一面侧以及另一面侧的至少一方，并且能够加热所述基板；压力检测部，能够检测所述收容空间的压力；控制部，基于所述压力检测部的检测结果而控制所述基板加热部。