公开/公告号CN102122461A
专利类型发明专利
公开/公告日2011-07-13
原文格式PDF
申请/专利权人 北京中海锦安高科技有限公司;
申请/专利号CN201010033853.7
申请日2010-01-08
分类号G09F9/33(20060101);G09B19/00(20060101);H04L29/08(20060101);
代理机构
代理人
地址 100020 北京市朝阳区关东店28号北京东方宫霄酒店619室
入库时间 2023-12-18 03:00:25
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-03-11
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G09F9/33 申请公布日:20110713 申请日:20100108
发明专利申请公布后的视为撤回
2013-02-06
实质审查的生效 IPC(主分类):G09F9/33 申请日:20100108
实质审查的生效
2011-07-13
公开
公开
机译: 一种用于清洁在OLED装置中使用的真空系统的方法,一种在用于制造OLED装置的基板上真空沉积的方法以及一种在用于制造OLED装置的基板上真空沉积的装置
机译: 一种清洁用于制造OLED器件的真空系统的方法,一种用于制造OLED器件的基板上的真空沉积方法,以及用于在用于制造OLED器件的基板上真空沉积的装置
机译: 一种清洁用于制造OLED器件的真空系统的方法,一种用于制造OLED器件的基板上的真空沉积方法,以及用于在用于制造OLED器件的基板上真空沉积的装置