集成电路上的金属薄膜电阻及其制作方法

摘要

本发明公开了一种集成电路上的金属薄膜电阻，集成电路上还包括有金属电容，金属电容包括下层电极、中间层的介质层和上层电极，金属薄膜电阻包括两个相互分离的端部电极，端部电极的材料与金属电容的上层电极相同，端部电极上面铺有经过光刻和刻蚀的电阻层，电阻层上铺有隔离层，端部电极向上通过通孔被引出。本发明还公开了一种上述金属薄膜电阻的制作方法，在制作集成电路上金属电容的上层电极的同时制作本发明金属薄膜电阻的端部电极。本发明将集成电路上金属薄膜电阻的制作过程与金属电容的制作过程结合在一起，在金属电容的制作过程中加入一次光刻和刻蚀完成金属薄膜电阻制作，简化了工艺过程，提高了生产效率。