CsI(T1)晶体薄膜直接集成CCD的X射线阵列探测器

摘要

本发明公开了一种CsI(Tl)晶体薄膜直接耦合CCD的X射线阵列探测器，它利用CsI(Tl)晶体的荧光效应，将X射线转换成荧光后，直接耦合至CCD面元上进行感光，生成数字图象信号；CsI(Tl)晶体与CCD面元之间无需光纤或光锥导光，既减小了系统的耦合损耗，又使探测器厚度变薄(100μm量级)；采用Al层把CsI(Tl)晶体分隔为与CCD面元大小尺寸一致的晶体单元，减小了荧光串扰噪声，提高了空间分辨率。该探测器具有结构简单、集成度高、探测效率高等优点。本发明在医学成像、工业检测等领域具有极大的应用潜力。