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具有信号配电盘的电子测试器和具有不同热膨胀系数的晶圆卡盘

摘要

本发明涉及一种测试器设备,包括用于可移走支撑并测试承载有微电子电路的基片的便携式支撑结构。当该便携式结构被固定结构支撑时,该固定结构上的接口被连接到第一接口,当该便携式支撑结构从该固定结构移走时,该固定结构的接口从第一接口断开。一种电测试器通过该接口被连接,使得可以在该电测试器和该微电子电路之间传输信号,从而测试该微电子电路。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2014-02-12

    授权

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  • 2011-03-16

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01R31/02 申请日:20080404

    实质审查的生效

  • 2011-01-19

    公开

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