正反向对称P型径向变掺杂、类台面负角造型结终端晶闸管

摘要

本发明涉及一种正反向对称P型径向变掺杂、类台面负角造型结终端晶闸管，较高浓度P型掺杂层在低浓度P-型掺杂层上形成的高低结为非平行平面结，其结面产生弯曲变化避免较高浓度P型杂质进入结终端区，正、反向结终端区边缘为类台面负角造型。正反向对称的P型径向变掺杂具有双面减薄P-区的作用；正反向对称的类台面负角造型，具有减薄长基区、减小自身占用面积、增大阴极面积并使正反向耐压对称的作用。本发明同时具有正反向阻断电压对称，长、短基区无附加厚度，阴极面积最大的特点。用相同电阻率及直径的原始硅材料，本发明制造的晶闸管阻断电压最高、转折电压与芯片厚度之比最高、阴极面积最大。