静电对策部件及其制造方法

摘要

静电对策部件具有：内部具有空洞部的陶瓷坯体；以及经由空洞部而相对的2个放电用电极。放电用电极由含有80重量％以上的钨的金属构成。在放电用电极中，相对于钨的总量，与氧结合的钨的量为2.0％原子百分比以下。对于该静电对策部件，即使反复对放电用电极施加高电压的静电，发生短路的可能性也很小，具有高可靠性。