半導体製造工程などにおける静電気対策状況をリアルタイムで監視する『3M静電気監視システム』

摘要

住友スリーェム（株）ではこのたび、製造現場における各種静電気対策状況をリアルタイムで監視することができる『3M静電気監視システム』を開発し、販売を開始した。そこで、同システムの開発の背景から、その特徴並びに概要、そして、その他にも幅広く展開している静電気対策製品のバリエーションなどについて、同社の電気•電子製品事業部電子製品営業部マーケティング部担当マネージャーの松井憲一郎氏にお話を伺った。