法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-11-07
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C16/27 申请公布日:20101117 申请日:20100806
发明专利申请公布后的视为撤回
2010-12-29
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/27 申请日:20100806
实质审查的生效
2010-11-17
公开
公开
机译: 直接在氧化铟/氧化锡透明电极基质上监测有机薄膜的气相沉积过程的气相沉积薄膜的制备方法
机译: 一种在低压(lpcvd)上通过化学气相沉积在衬底上产生二氧化硅层的方法。
机译: 一种通过循环沉积法在基板上沉积含FI薄膜的方法