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一种在PC树脂镜片上沉积DLC薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种在PC树脂镜片上沉积DLC薄膜的制备方法,属于光学镜片制备技术领域。该方法以PC树脂镜片为基体,采用等离子体增强化学气相沉积技术(PECVD)技术在PC基体上沉积类金刚石(DLC)薄膜。本发明利用PECVD技术特点,即基体温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少、不易龟裂,最终获得耐磨性和透光性良好的光学镜片。

著录项

  • 公开/公告号CN101886252A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2010-11-17

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 北京大学;

    申请/专利号CN201010246958.0

  • 发明设计人 成艳;魏世成;褚颖;郑玉峰;

    申请日2010-08-06

  • 分类号C23C16/27(20060101);C23C16/513(20060101);G02B1/04(20060101);G02B1/10(20060101);

  • 代理机构北京万象新悦知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人贾晓玲

  • 地址 100871 北京市海淀区颐和园路5号

  • 入库时间 2023-12-18 01:00:57

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2012-11-07

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C16/27 申请公布日:20101117 申请日:20100806

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2010-12-29

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/27 申请日:20100806

    实质审查的生效

  • 2010-11-17

    公开

    公开

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