微波表面波PECVD沉积DLC薄膜对PET材料阻隔性影响

摘要

介绍了采用微波表面波等离子体化学气相沉积(MW Surface-wave PECVD)的方法,在PET包装材料的表面沉积类金刚石(Diamond-like Carbon,DLC)薄膜,以改善其阻隔性能.实验以乙炔作为单体,氩气为放电气体沉积DLC薄膜.采用傅立叶红外光谱(FTIR),拉曼光谱(Raman Spectra)以及表面轮廓仪等分析薄膜的结构、成分以及厚度分布.通过测试PET薄膜的氧气透过率(Oxygen Transmission Rate,OTR)和水蒸气透过率(Water Vapor Transmission Rate,WVTR)分析DLC薄膜沉积对阻隔性的影响.结果表明,在PET包装材料表面沉积纳米厚度的类金刚石薄膜可以大大改善其阻隔性能,氧气透过率降低约100倍,水蒸汽透过率降低约130倍.