公开/公告号CN101851746A
专利类型发明专利
公开/公告日2010-10-06
原文格式PDF
申请/专利权人 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司;
申请/专利号CN200910301344.5
发明设计人 裴绍凯;
申请日2009-04-03
分类号C23C14/35;C23C14/56;
代理机构
代理人
地址 518109 广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号
入库时间 2023-12-18 00:52:30
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-03-12
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C14/35 申请公布日:20101006 申请日:20090403
发明专利申请公布后的驳回
2012-02-15
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/35 申请日:20090403
实质审查的生效
2010-10-06
公开
公开
机译: 非平衡磁控溅镀蒸发源
机译: 使用磁控阴极靶作为涂料源通过离子镀形成沉积物的方法和设备
机译: 钽溅镀靶是集气系统制造的方法,并且使用带有线障膜的靶形成了禁令导向体