ПОЛУЧЕНИЕ УГЛЕРОДНЫХ НАНОТРУБОК МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ НА ПОСТОЯННОМ ТОКЕ

摘要

Углеродные пленки, содержащие многостенные нанотрубки, приготовлены методом магнетронно-го распыления на постоянном токе. В качестве мишени использовался графитовый диск с пластинами катализатора Y, Ni. Структурно-морфологические свойства пленок исследовались с помощью просвечивающего электронного микроскопа JEM-2000EXII. Пленки осаждали на стекло, никель, фторопласт и др. Полученные пленки содержат в своей массе до 40% многостенных углеродных на-нотрубок диаметром 4-16 нм и длиной ≥200 нм.