ПРОЗРАЧНЫЕ ПРОВОДЯЩИЕ СЛОИ НА ОСНОВЕ ZnO， ПОЛУЧЕННЫЕ МАГНЕТРОННЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ КОМПОЗИТНОЙ МЕТАЛЛОКЕРАМИЧЕСКОЙ МИШЕНИ ZnO:Ga-Zn:ЧАСТЬ 1

摘要

Проведено сравнительное осаждение слоев Zn:Ga методом магнетронного расления керамиче-ской мишени ZnO:Ga(3 моль %) и композитной металлокерамической мишени ZnO:Ga(3 моль %)-Zn(20 мае. %) в режиме постоянного тока при температурах подложек 50 и 200°C. Исследование процессов формирования, структуры и функциональных характеристик слоев, полученных при распылении мишеней обоих типов в среде Аг, показывает, что увеличение содержания цинка в потоке реагентов при нагреве подложки до 200°C способствует улучшению структурного совершенства слоев и проводимости при сохранении высокого коэффициента оптического пропускания.