法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-06-11
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C14/34 授权公告日:20111019 终止日期:20130421 申请日:20100421
专利权的终止
2011-10-19
授权
授权
2010-11-03
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/34 申请日:20100421
实质审查的生效
2010-09-15
公开
公开
技术领域
本发明涉及半导体材料和器件制备技术领域,尤其涉及一种利用非极性ZnO缓冲层生长非极性InN薄膜的方法,主要指利用非极性ZnO缓冲层来外延生长高质量的非极性InN薄膜。
背景技术
InN具有较窄的禁带宽度(0.7eV)和较小的电子有效质量(0.05m0),使其在高速微电子器件,发光二极管和太阳能电池等领域具有广泛的应用前景。
目前研究较多的是利用C面InN薄膜制备光电器件。然而由于C面InN薄膜存在极化电场,会降低InN光电器件的光电效率。利用非极性的A面InN薄膜可以有效的解决这一问题。但是由于R面蓝宝石与A面InN薄膜直接存在着较大的晶格失配,直接外延生长不利于InN薄膜的二维联合生长,难以得到高质量的非极性InN薄膜。
发明内容
(一)要解决的技术问题
本发明的目的是提供一种利用非极性ZnO缓冲层生长非极性InN薄膜的方法,以生长出高质量的非极性A面InN薄膜。
(二)技术方案
为达到上述目的,本发明提供了一种利用非极性ZnO缓冲层生长非极性InN薄膜的方法,该方法包括:
步骤1:取一衬底;
步骤2:采用MOCVD法生长非极性A面ZnO缓冲层;
步骤3:采用MOCVD方法,通入铟源和氮源,在该非极性A面ZnO缓冲层上生长非极性A面InN薄膜;
步骤4:关闭铟源,并在反应室温度降到300摄氏度以下关闭氮源,完成A面非极性InN薄膜的生长。
上述方案中,步骤1中所述衬底为R面蓝宝石。
上述方案中,步骤2中所述采用MOCVD法生长非极性A面ZnO缓冲层,包括:先在600摄氏度下通氮气烘烤蓝宝石衬底10分钟,利用二乙基锌和氧气作为反应源,氮气做载气,在600摄氏度下生长非极性A面ZnO缓冲层,生长过程中反应室压力维持在76Torr,制得的非极性A面ZnO缓冲层随炉冷却至室温后取出。
上述方案中,步骤2中所述生长的非极性A面ZnO缓冲层,其厚度为10nm至100nm。
上述方案中,步骤3中所述采用MOCVD生长非极性A面InN薄膜,其生长温度为500℃至580℃。
上述方案中,步骤3中所述采用MOCVD生长非极性A面InN薄膜,其生长压强为760Torr。
上述方案中,步骤3中所述采用MOCVD生长非极性A面InN薄膜,采用的载气为氮气。
上述方案中,步骤3和步骤4中所述铟源是三甲基铟,所述氮源是氨气。
上述方案中,得到的A面非极性InN薄膜应用于微电子器件、发光二极管和太阳能电池中。
(三)有益效果
从上述技术方案可以看出,本发明具有以下有益效果:
1、本发明提供的这种利用非极性ZnO缓冲层生长非极性InN薄膜的方法,由于ZnO缓冲层的存在,A面ZnO作为缓冲层以降低外延失配度,蓝宝石和InN薄膜间的大失配得到缓解,应力释放集中在ZnO缓冲层中,从而使InN薄膜的外延能够更好的以二维联合成膜的形式生长,最终获得高质量的非极性InN薄膜。
2、利用此技术生长出的A面InN薄膜的的X射线半高宽达到0.75°,经PL谱测试具有较好的光学性能。这些证明了此种方法生长非极性InN薄膜是可行且有效的。
附图说明
为了进一步说明本发明的特征和效果,下面结合附图和实施对本发明做进一步的说明,其中:
图1是本发明提供的利用非极性ZnO缓冲层生长非极性InN薄膜的方法流程图;
图2是R面蓝宝石上生长的A面ZnO薄膜(a,b)和在其上后续生长的A面InN薄膜(c,d)的SEM表面及截面图;
图3是R面蓝宝石上以ZnO做缓冲层生长的A面InN薄膜样品的XRD图谱;其中(a)为θ-2θ扫描谱,而(b)为高分辨摇摆曲线(Rocking Curve);
图4是R面蓝宝石上以ZnO做缓冲层生长的A面InN薄膜样品的PL图谱。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白,以下结合具体实施例,并参照附图,对本发明进一步详细说明。
如图1所示,本发明提供的利用非极性ZnO缓冲层生长非极性InN薄膜的方法,利用非极性ZnO缓冲层,采用MOCVD技术,具体包括以下步骤:
步骤1:取一衬底;
步骤2:将该衬底放入氧化物MOCVD设备中,采用MOCVD法生长非极性A面ZnO缓冲层;
步骤3:采用MOCVD方法,通入铟源和氮源,在该非极性A面ZnO缓冲层上生长非极性A面InN薄膜;
步骤4:关闭铟源,并在反应室温度降到300摄氏度以下关闭氮源,完成A面非极性InN薄膜的生长。
其中,步骤1中所述衬底为R面蓝宝石。
步骤2中所述采用MOCVD法生长非极性A面ZnO缓冲层,包括:先在600摄氏度下通氮气烘烤蓝宝石衬底10分钟,利用二乙基锌和氧气作为反应源,氮气做载气,在600摄氏度下生长非极性A面ZnO缓冲层,生长过程中反应室压力维持在76Torr,制得的非极性A面ZnO缓冲层随炉冷却至室温后取出。所述生长的非极性A面ZnO缓冲层,其厚度为10nm至100nm。
步骤3中所述采用MOCVD生长非极性A面InN薄膜,其生长温度为500℃至580℃。所述采用MOCVD生长非极性A面InN薄膜,其生长压强为760Torr。所述采用MOCVD生长非极性A面InN薄膜,采用的载气为氮气。所述铟源是三甲基铟,所述氮源是氨气。
本发明得到的非极性InN薄膜可用于红外光学器件和电子器件。
基于图1所示的利用非极性ZnO缓冲层生长非极性InN薄膜的方法,本发明提供的具体实施例包括以下步骤:
1)选用R面蓝宝石作为衬底。
2)在生长氧化物的金属有机化学气相沉积(MOCVD)设备中生长高质量的非极性A面ZnO薄膜;具体生长参数如下:生长温度为600摄氏度,反应室压力为76Torr,作为Zn源的二乙基锌(DEZn)的流量为32sccm,作为氧源的氧气的流量为1slm,载气用的是氮气,开源生长前先在600摄氏度下烘烤蓝宝石衬底十分钟。制得的ZnO薄膜随炉冷却至室温后取出。ZnO薄膜厚度约100nm(图2)。
3)将制得的A面ZnO薄膜放入氮化物MOCVD设备中作为衬底,并利用氮气做载气,三甲基铟和氨气为源生长非极性A面InN薄膜;具体工艺条件为:生长温度为580摄氏度,反应室压强为760Torr,三甲基铟(TMIn)的流量为200sccm,氨气(NH3)的流量为3slm,氮气作为载气,其流量为3slm,生长时间为40分钟。InN薄膜厚度约320nm(图2)。
4)关闭铟源,反应室温度降到300摄氏度以下关闭氨气,生长完后继续通入氨气的作用是抑制InN的高温热分解。
图3示出了R面蓝宝石上以ZnO做缓冲层生长的A面InN薄膜样品的XRD图谱;其中(a)为θ-2θ扫描谱,而(b)为高分辨摇摆曲线(RockingCurve);图4示出了R面蓝宝石上以ZnO做缓冲层生长的A面InN薄膜样品的PL图谱。
以上所述的具体实施例,对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明,所应理解的是,以上所述仅为本发明的具体实施例而已,并不用于限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
机译: 利用原子层沉积生长C轴取向ZnO薄膜的方法和使用该方法生长的光学器件
机译: 利用原子层沉积生长C轴取向ZnO薄膜的方法和使用该方法生长的光学器件
机译: 改善(GA,AL,In,B)N薄膜和生长在非极性或半极性(GA,AL,IN,B)N衬底上的薄膜和表面形貌的方法