带有通孔的X射线光刻掩模

摘要

本发明公开了一种带有通孔的X射线光刻掩模，包括：一支撑框架，其具有平滑的上表面，用于固定和支撑带有通孔的薄膜；一层带有通孔的薄膜，位于该支撑框架平滑的上表面；以及一组粘附在带有通孔的薄膜之上的吸收体。利用本发明，在抽真空时，通过所述一个或者多个通孔可以有效地排出掩模和衬底之间的残余气体，从而保持掩模和衬底之间的较小空隙。这样一方面防止气体膨胀造成的掩模破裂，另一方面，减小曝光间隙有利于获得比较好的曝光效果。