一种卧式高温真空镀膜生产线

摘要

一种卧式高温真空镀膜生产线，包括机架、真空缓冲箱体和真空镀膜箱体、基片架传送机构、自动装卸片机构，所述真空镀膜箱体设置在所述机架上部中间，所述真空缓冲箱体分为两组，分别设置在所述真空镀膜箱体两端的机架上，所述真空缓冲箱体之间及真空缓冲箱体与真空镀膜箱体之间设置有气动转板阀，在所述机架两端各设有一个自动装卸片机构；在所述机架的下部及所述真空缓冲箱体和真空镀膜箱体底部分别设有与所述自动装卸片机构驳接的基片架传送机构；所述真空镀膜箱体内还设有靶枪、加热器。本发明结构合理、玻璃传送平稳、耐高温、适用于大尺寸玻璃表面高温真空镀膜，可工业化生产，替代现有立式真空镀膜生产线，实现大尺寸玻璃高温真空镀膜。

说明书

技术领域

本发明公开了一种卧式高温真空镀膜生产线，属于机械制造、电子喷镀、真空技术领域。

背景技术

镀膜玻璃分为常温真空镀膜玻璃和高温真空镀膜玻璃，应用于建筑物外墙上的镀膜玻璃，通常是常温真空镀膜玻璃；太阳能电池板用的镀膜玻璃(TCO)，通常是高温真空镀膜玻璃。现有技术中，真空镀膜生产线分为卧式真空镀膜生产线和立式真空镀膜生产线。两种真空镀膜生产线是在同一水平平面上分布有多个真空箱体，被镀玻璃在传送装置的输送下，经过每一个真空箱体进行处理，实现表面镀膜；现有技术中，卧式真空镀膜生产线的传送装置是采用平行设置的多个橡胶辊组成的输送轨道实现玻璃的传送，玻璃传送时与真空箱体底面处于相互平行的状态；卧式真空镀膜生产线由于.采用橡胶辊传送玻璃，其承载量大，传送平稳，对玻璃尺寸大小没有限制，产量高；但由于橡胶辊的耐高温性能较差，因此，现有卧式真空镀膜生产线只能用于生产常温真空镀膜玻璃。而立式真空镀膜生产线的传送装置则是底部采用步进电机驱动、上部采用磁导向的结构，实现玻璃的传送；玻璃传送时与真空箱体底面处于相互垂直的状态；所述的磁导向装置是在承载玻璃的基片架上部设置磁钢，然后，使基片架上部卡装在两侧壁上设置有多组磁导向单元的U形槽中，利用磁钢同极排斥的作用，实现对基片架无接触定位、导向目的，具有传送平稳、耐高温、无污染、所镀膜层均匀性高的优点；但是，由于传送装置上部采用磁导向结构保证玻璃在真空镀膜箱体中的竖向位置精度，也就是采用磁导向结构保证玻璃与电子枪之间的位置精度，实际使用中存在以下问题：首先，无接触磁导向U形槽与承载玻璃的基片架之间存在一定的间隙，虽然利用磁钢同极排斥的作用，可以对基片架无接触定位、导向；由于玻璃在运行时，不可避免的会发生晃动，当玻璃高度较大、自身重量也较大时，其晃动的幅度更大，此时，磁导向结构无接触定位、导向的即时定位精度明显降低，从而，影响所镀膜层均匀性。因此，现有立式真空镀膜生产线通常只能应用于小尺寸TCO镀膜玻璃的生产，一方面，产量有限，另一方面，制约了太阳能光伏产业的发展。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术之不足，提供一种结构合理、生产效率高、玻璃传送平稳、耐高温、镀膜质量好、节能、适用于大尺寸玻璃表面高温真空镀膜的卧式高温真空镀膜生产线。

本发明是采用下述方案实现的：一种卧式高温真空镀膜生产线，包括机架、四个真空缓冲箱体和至少一个真空镀膜箱体、基片架传送机构、自动装卸片机构，所述至少一个真空镀膜箱体设置在所述机架上部中间，所述四个真空缓冲箱体分为两组，分别设置在所述真空镀膜箱体两端的机架上，所述真空缓冲箱体之间及真空缓冲箱体与真空镀膜箱体之间设置有气动转板阀，在所述机架两端各设有一个自动装卸片机构；在所述机架的下部及所述真空缓冲箱体和真空镀膜箱体底部分别设有与所述自动装卸片机构驳接的基片架传送机构；所述真空镀膜箱体内还设有靶枪、加热器。

本发明中，所述真空缓冲箱体上连接有抽真空罗茨泵或直联泵。

本发明中，所述真空镀膜箱体上连接有抽真空分子泵，顶部设有靶门或抽气口门。

本发明中，所述加热器设置在所述真空镀膜箱体中的所述基片架传送机构上、下方，在所述加热器与所述真空镀膜箱体之间设有至少两层镜面朝向所述加热器的镜面反射板。

本发明中，所述基片架传送机构包括传动电机、同步长轴、传动轴、同步带、同步轮、摩擦轮，所述同步长轴安装于所述真空镀膜箱体两侧箱板之间并由所述传动电机驱动，所述同步长轴两端各设有一个同步轮；所述传动轴为多个，平行均布在所述真空镀膜箱体两侧箱板上，所述多个传动轴的轴线处于同一直线上；所述每一个传动轴的一端设有所述同步轮，两两相邻的传动轴之间通过所述同步带驱动，所述每一个传动轴的另一端设有所述摩擦轮；所述同步长轴两端设置的同步轮分别通过同步带驱动设于真空镀膜箱体该端侧箱板上的传动轴；所述摩擦轮外圆周面上设有与所述摩擦轮同轴线的导向圆环槽或导向圆环台阶，所述导向圆环槽的横截面为半圆弧形，所述圆环台阶的横截面为1/4圆弧形。

本发明中，所述自动装卸片机构包括机架、第一基片架传送机构、第二基片架传送机构、第一基片传送机构、第三基片架传送机构、第二基片传送机构，在所述机架的一端设有所述第一基片传送机构，在所述机架另一端设有所述第一基片架传送机构；在所述机架内设有导向光杆和丝杆，所述导向光杆和丝杆垂直于所述机架底面且相互平行；在所述机架上设有驱动所述丝杆正反转的电机；所述第二基片架传送机构上设有螺孔及通孔，所述螺孔旋装在所述丝杆上、所述通孔套装在所述导向光杆上；所述第二基片传送机构上也设有通孔，分别套装在所述丝杆及导向光杆上，所述第二基片传送机构通过汽缸活塞与所述第二基片架传送机构固连并处于所述第二基片架传送机构下方；所述第二基片传送机构上设有多个摩擦传动轮，所述摩擦传动轮的安装尺寸处于所述第二基片架传送机构中心设置的矩形通孔正投影范围内；所述第二基片传送机构与所述第二基片架传送机构上分别设置有驱动电机；所述第一基片架传送机构上方平行设置有第三基片架传送机构，所述第一基片架传送机构、第三基片架传送机构沿所述机架高度方向有一定间距。

本发明由于采用上述结构，与现有技术相比，具有如下优点：

1、采用了自动装卸片机构，实现与基片清洗设备的全自动接驳，与传统的生产线相比，减少了此阶段的人工干预，可有效避免对基片的二次污染。

2、真空缓冲箱体和真空镀膜箱体底部设置基片架传送机构，实现卧式高温传送玻璃，解决了长期以来本领域希望解决的大尺寸玻璃高温镀膜的技术障碍，且基片传送平稳性。

3、在机架的下部设置与自动装卸片机构驳接的基片架传送机构实现基片架的回笼，可以有效减少整机生产线占用的空间。

4、在真空镀膜箱体中设置加热器的镜面反射板，利用镜面的反辐射作用，将加热器的辐射热遮挡及反射回基片，有效提高加热器对基片的加热效率，同时，可以有效减少辐射到箱体侧板表面的热量；达到有效控制箱体温度的目的；且加热的热量分布均匀，节能降耗，节约资源，提高基片受热均匀性，延长真空镀膜箱密封件的使用寿命。

综上所述，本发明结构合理、生产效率高、玻璃传送平稳、耐高温、镀膜质量好、节能、适用于大尺寸玻璃表面高温真空镀膜，可实现工业化生产，替代现有立式真空镀膜生产线，实现了大尺寸玻璃的高温真空镀膜。

附图说明

附图1-1、附图1-2为本发明主视图。

附图2-1、附图2-2为本发明俯视图。

附图3为本发明中加热器反射板安装结构示意图。

附图4为发明中基片架传送机构结构示意图。

附图5为发明中自动装卸片机构结构示意图。

图中：1-机架、2、3、4、5-真空缓冲箱体，6、7-真空镀膜箱体，8-基片架传送机构，9-自动装卸片机构，10-靶门或抽气口门，11-靶枪、12-加热器，13-镜面反射板。

具体实施方式

下面结合附图及具体实施例，对本发明作进一步详细说明。

参见附图1、2、3，本发明一种卧式高温真空镀膜生产线，包括机架1、四个真空缓冲箱体2、3、4、5，两个真空镀膜箱体6、7、，基片架传送机构8，自动装卸片机构9，所述两个真空镀膜箱体6、7、设置在所述机架1上部中间，所述四个真空缓冲箱体2、3、4、5分为两组，分别设置在所述真空镀膜箱体6、7两端的机架1上，所述真空缓冲箱体2、3、4、5之间及真空缓冲箱体3、4与真空镀膜箱体6、7之间设置有气动转板阀15，在所述机架1两端各设有一个自动装卸片机构9；在所述机架1的下部及所述真空缓冲箱体2、3、4、5和真空镀膜箱体6、7底部分别设有与所述自动装卸片机构9驳接的基片架传送机构8；所述真空镀膜箱体6、7内还设有靶枪11、加热器12；所述真空缓冲箱体2、3、4、5上连接有抽真空罗茨泵或直联泵14；所述真空镀膜箱体6、7上连接有抽真空分子泵16，顶部设有靶门或抽气口门10。

本实施例中所述加热器12设置在所述真空镀膜箱体中的所述基片架传送机构8上、下方，在所述加热器12与所述真空镀膜箱体之间设有至少两层镜面朝向所述加热器的镜面反射板13。

参见附图4，本发明实施例中所述基片传送机构8包括传动电机16、同步长轴17、传动轴18、同步带19、同步轮20、摩擦轮21，所述同步长轴17安装于所述真空镀膜箱体6两侧箱板之间并由所述传动电机16驱动，所述同步长轴17两端各设有一个同步轮20-1；所述传动轴18为多个，平行均布在所述真空镀膜箱体6两侧箱板上，所述多个传动轴18的轴线处于同一直线上；所述每一个传动轴18的一端设有所述同步轮20-3，两两相邻的传动轴18之间通过所述同步带19驱动，所述每一个传动轴18的另一端设有所述摩擦轮21；所述同步长轴17两端设置的同步轮20-2分别通过同步带19驱动设于真空镀膜箱体6该端侧箱板上的传动轴18；所述摩擦轮21外圆周面上设有与所述摩擦轮21同轴线的导向圆环槽22或导向圆环台阶23，所述导向圆环槽22的横截面为半圆弧形，所述圆环台阶23的横截面为1/4圆弧形。

参见附图5，本发明实施例中所述自动装卸片机构9包括机架24、第一基片架传送机构25、第二基片架传送机构26、第一基片传送机构27、第三基片架传送机构28、第二基片传送机构29，在所述机架24的一端设有所述第一基片传送机构27，在所述机架24另一端设有所述第一基片架传送机构25；在所述机架24内设有导向光杆30和丝杆31，所述导向光杆30和丝杆31垂直于所述机架24底面且相互平行；在所述机架24上设有驱动所述丝杆31正反转的电机32；所述第二基片架传送机构26上设有螺孔及通孔，所述螺孔旋装在所述丝杆31上、所述通孔套装在所述导向光杆30上；所述第二基片传送机构29上也设有通孔，分别套装在所述丝杆31及导向光杆30上，所述第二基片传送机构29通过汽缸活塞33与所述第二基片架传送机构26固连并处于所述第二基片架传送机构26下方；所述第二基片传送机构29上设有多个摩擦传动轮34，所述摩擦传动轮34的安装尺寸处于所述第二基片架传送机构26中心设置的矩形通孔正投影范围内；所述第二基片传送机构29与所述第二基片架传送机构26上分别设置有驱动电机；所述第一基片架传送机构25上方平行设置有第三基片架传送机构28，所述第一基片架传送机构25、第三基片架传送机构28沿所述机架24高度方向有一定间距。