压力传感器、包括压力传感器的传感器探头、包括传感器探头的医疗设备、以及制造传感器探头的方法

摘要

本发明涉及一种包括响应压力而可变形的柔性膜的压力传感器，该压力传感器覆盖腔(2)并且包括用于产生与柔性膜的变形相对应的信号的应变仪(21)，其中柔性膜是柔性单片集成电路箔(10)。按照这种方式，半导体集成电路本身用作柔性膜，这导致不太复杂的制造处理。