法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-05-08
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01R1/04 申请公布日:20100818 申请日:20100408
发明专利申请公布后的驳回
2010-10-06
实质审查的生效 IPC(主分类):G01R1/04 申请日:20100408
实质审查的生效
2010-08-18
公开
公开
机译: 用于制造SiC单晶的设备,用于该SiC单晶的制造设备的夹具和制造方法
机译: SiC单晶的制造装置,用于该制造装置的夹具以及制造SiC单晶的方法
机译: SiC单晶的制造装置,用于该制造装置的夹具以及制造SiC单晶的方法