激光角度干涉仪测量数控转台位置精度的装置

摘要

本发明为激光角度干涉仪测量数控转台位置精度的装置，解决已有装置结构复杂，对反射镜常数校正费时、费力的问题。主轴(22)与连接盘(21)固连，轴承座(8)与被测数控转台固连，与吸合圆盘(16)连接，与盘齿轮(18)固连，电磁铁(6)与连接盘(21)固连，与吸合圆盘(16)相对，步进电机座(19)与连接盘(21)固连，步进电机(5)的轴端与齿轮(17)固连，齿轮(17)与盘齿轮(18)啮合，角度反射镜(3)与连接盘(21)固连，激光头(1)发出的激光束经角度干涉模块(2)分成两路分别射向角度反射镜(3)，角度反射镜(3)返回的光束经角度干涉模块(2)射向激光头(1)，其信号经控制电箱(11)再送计算机(12)并转换为角度值，接收器(9)与计算机(12)连接，计算机(12)与控制电箱(11)连接，控制电箱(11)与步进电机(5)和电磁铁(6)连接。