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(100)锗单晶的位错腐蚀溶液及其腐蚀方法

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摘要

本发明公开了一种(100)锗单晶的位错腐蚀溶液及其腐蚀方法，首先配制腐蚀溶液：用聚乙烯塑料(Polyethylene)或聚丙烯塑料(Polypropylene)量杯配制蚀刻溶液，溶液为硝酸、氢氟酸、及硝酸铜，配比为HNO

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2012-06-20

发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C30B33/10 公开日:20100505 申请日:20091020

发明专利申请公布后的驳回
2010-06-23

实质审查的生效 IPC(主分类):C30B33/10 申请日:20091020

实质审查的生效
2010-05-05

公开

公开

1. (100)锗单晶的位错腐蚀溶液及其腐蚀方法 [P] . 中国专利： CN101701360A . 2010-05-05
2. 偏111晶向锗单晶片位错显示用腐蚀液及腐蚀方法 [P] . 中国专利： CN104862702A . 2015-08-26
3. Manufacturing methods and dislocation-free silicon single crystal ingot of dislocation-free silicon single crystal [P] . 日本专利： JP3683735B2 . 2005-08-17

机译：无位错单晶硅的制造方法及无位错单晶硅锭
4. METAL CORROSION INHIBITOR FOR POLYCARBOXYLIC ACID AQUEOUS SOLUTION, METAL CORROSION INHIBITOR AQUEOUS SOLUTION COMPOSITION, AND METAL CORROSION INHIBITING METHOD FOR POLYCARBOXYLIC ACID AQUEOUS SOLUTION [P] . 日本专利： JP6444105B2 . 2018-12-26

机译：聚羧酸水溶液的金属腐蚀抑制剂，聚羧酸水溶液的金属腐蚀抑制剂和聚羧酸溶液的金属腐蚀抑制方法
5. METAL CORROSION INHIBITOR FOR POLYCARBOXYLIC ACID AQUEOUS SOLUTION, METAL CORROSION INHIBITOR AQUEOUS SOLUTION COMPOSITION, AND METAL CORROSION INHIBITING METHOD FOR POLYCARBOXYLIC ACID AQUEOUS SOLUTION [P] . 日本专利： JP2016060932A . 2016-04-25

机译：聚羧酸水溶液的金属腐蚀抑制剂，聚羧酸水溶液的金属腐蚀抑制剂和聚羧酸溶液的金属腐蚀抑制方法