含MEMS开关的谐振频率可重构的天线及其制作

摘要

一种含MEMS(微电子机械)开关的谐振频率可重构的天线及其制作，属于微波和微电子交叉的技术领域。用MEMS工艺和IC工艺，通过衬底的清洗和热氧化、电镀金层、电镀增加第一～第四桥墩的高度、淀积氮化硅薄膜、涂敷牺牲层、蒸发铝硅合金膜、腐蚀铝硅合金膜、去除牺牲层和焊接垫片九个步骤，将该天线制作在一片10mm×10mm的高阻硅片上。该天线有体积微小，结构紧凑，利用MEMS开关实现天线的频率重构和频率重构时天线在各个谐振频率的辐射方向图不发生改变的优点，该天线的制备方法有基于微电子加工平台、工艺简单，加工精度高、能与IC集成、成本低和适于批量生产的优点。该天线适于作雷达相控制目标搜索与跟踪天线、机械或弹载天线、抗干扰的GPS定位天线，特别适用于射频器件集成，为未来移动通讯的发展做出贡献。