双激光器频率扫描干涉法高精度绝对距离测量仪

摘要

本发明涉及一种双激光器频率扫描干涉法高精度绝对距离测量仪，属于精密测量技术领域。该距离测量系统主要有无跳模频率扫描外腔半导体激光器、频率扫描范围测量模块、折射率测量模块、参考和测量干涉计，以及数据采集和控制系统组成。该方法的优点是在频率扫描的同时进行干涉条纹计数，消除了距离测量的不确定性。采用双激光器进行频率扫描可以有效地抵消系统的测量误差，同时可以抑制振动和条纹计数的不确定性带来的误差，利用双干涉测量回路的模式进行光程差的测量可以消除参考干涉计的影响，提高测量的精度和准确度。该系统适合长距离、高精度测量领域的应用，如空间综合孔径排列、小行星编队、高能物理实验中跟踪探测器的准实时排列等。