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浆料图案形成方法和用于该方法中的转印薄膜

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摘要

本发明公开了一种浆料图案形成方法，所述方法包括以下步骤：在薄膜基体材料(302)上形成转印图案材料(304)以制备转印薄膜；将转印薄膜粘附到在其上形成转印图案的基底(308)上，以使转印图案材料接触所述基底；将薄膜基体材料(302)与所述转印图案材料分离；在转印图案凹陷内填入浆料(310)；将所述浆料固化；并且移除转印图案材料(304)。

著录项

公开/公告号CN101573775A

专利类型发明专利
公开/公告日2009-11-04

原文格式PDF
申请/专利权人 E.I.内穆尔杜邦公司;
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申请/专利号CN200780042812.0
发明设计人秋元英树;
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申请日2007-11-19
分类号H01J9/02;H01J9/24;H01J17/49;G02F1/00;H01L31/00;
代理机构上海专利商标事务所有限公司;
代理人朱黎明
地址美国特拉华州
入库时间 2023-12-17 22:53:02

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2011-05-18

发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01J9/02 公开日:20091104 申请日:20071119

发明专利申请公布后的视为撤回
2010-01-13

实质审查的生效

实质审查的生效
2009-11-04

公开

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