公开/公告号CN101523600A
专利类型发明专利
公开/公告日2009-09-02
原文格式PDF
申请/专利权人 帝斯曼方案公司;
申请/专利号CN200780036346.5
申请日2007-09-12
分类号H01L27/02;H01L29/808;H01L21/336;H01L21/337;H01L29/10;
代理机构北京东方亿思知识产权代理有限责任公司;
代理人李剑
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-12-17 22:40:15
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2011-05-25
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L27/02 公开日:20090902 申请日:20070912
发明专利申请公布后的视为撤回
2009-11-04
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-09-02
公开
公开
机译: 具有以基本均匀密度的图案形成的电路的半导体器件
机译: 具有以基本均匀的图案密度形成的电路的半导体器件
机译: 在半导体晶片的每个区域中具有不同杂质密度的集成电路半导体器件及其制造方法,以在半导体晶片上形成均匀的阈值电压