利用层转移工艺制造太阳能电池的方法和结构

摘要

本发明公开了一种用于层转移工艺的可重复使用的硅衬底装置。该装置具有可重复使用的衬底，其具有表面区域、解理区域、以及总厚度的材料。总厚度的材料比待去除的第一厚度的材料大至少N倍。在一种特定的实施方式中，待去除的第一厚度的材料位于表面区域和解理区域之间，因而N是大于约10的整数。该装置还具有卡盘元件，适于将操作衬底元件保持在原位。该卡盘元件被设置为支持操作衬底，以便于将操作衬底结合至待去除的第一厚度的材料。在优选的实施方式中，该装置具有可操作地结合至卡盘元件的机械压紧装置。该机械压紧装置适于提供力，以使操作衬底结合至待去除的第一厚度的材料。