公开/公告号CN101461048A
专利类型发明专利
公开/公告日2009-06-17
原文格式PDF
申请/专利权人 索尼化学&信息部件株式会社;
申请/专利号CN200780020205.4
申请日2007-05-22
分类号H01L21/60;H01L21/52;H01L21/603;
代理机构广州华进联合专利商标代理有限公司;
代理人郑小粤
地址 日本东京
入库时间 2023-12-17 22:10:28
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2011-01-26
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/60 公开日:20090617 申请日:20070522
发明专利申请公布后的视为撤回
2009-08-12
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-06-17
公开
公开
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