法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-12-09
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C16/00 申请公布日:20090422 申请日:20070406
发明专利申请公布后的驳回
2011-12-28
著录事项变更 IPC(主分类):C23C16/00 变更前: 变更后: 申请日:20070406
著录事项变更
2009-06-17
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-04-22
公开
公开
机译: 在外延膜形成过程中使用的气体歧管
机译: 气体歧管以便在外延膜形成过程中使用
机译: 气膜形成期间使用的气体歧管