公开/公告号CN101407909A
专利类型发明专利
公开/公告日2009-04-15
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料股份有限公司;
申请/专利号CN200810211588.X
发明设计人 马丁·杰西蒙斯;尤加南德·N·萨利帕里;光得·道格拉斯·李;博·恒·金;维斯韦斯瓦伦·西瓦拉玛克里施南;温蒂·H·叶;约瑟芬·汝-伟·张刘;埃米尔·阿拉-巴亚提;德里克·R·维迪;伊沙姆·迈萨德;
申请日2008-10-08
分类号C23C16/26;C23C16/455;C23C16/52;
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-12-17 21:49:12
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-12-26
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C16/26 申请公布日:20090415 申请日:20081008
发明专利申请公布后的驳回
2012-02-15
著录事项变更 IPC(主分类):C23C16/26 变更前: 变更后: 申请日:20081008
著录事项变更
2009-06-10
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-04-15
公开
公开
机译: 非晶碳层的高温沉积方法
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