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高温沉积非晶碳层的方法

摘要

提供了一种以提高的台阶覆盖率高温沉积非晶碳膜的方法。在一个实施例中,沉积非晶碳膜的方法包括:在处理室中提供基板,在高于500摄氏度的温度下加热基板,将包括碳氢化合物和惰性气体的气体混合物提供到含有加热基板的处理室中,和在加热的基板上沉积具有在100兆帕斯卡(MPa)拉应力和约100兆帕斯卡(MPa)压应力之间的应力的非晶碳膜。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2012-12-26

    发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C16/26 申请公布日:20090415 申请日:20081008

    发明专利申请公布后的驳回

  • 2012-02-15

    著录事项变更 IPC(主分类):C23C16/26 变更前: 变更后: 申请日:20081008

    著录事项变更

  • 2009-06-10

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2009-04-15

    公开

    公开

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