一种乐甫波传感器PMMA波导膜的旋涂制备方法

摘要

本发明公开了一种乐甫波传感器PMMA波导膜的旋涂制备方法，其特征在于，采用1，2－二氯乙烷为溶剂配制浓度为1－5wt％的PMMA溶液，经多次旋涂达到所需的波导厚度。本发明由于采用挥发性适中的1，2－二氯乙烷作为溶剂配制低浓度旋涂溶液，该溶液流动性好，粘度适中，保证波导膜具有很好的平整度和均匀性，减少了传感器的插损。尽管每次旋涂的厚度很薄，但经多次旋涂后波导层的厚度可以达到2μm以上，并能保持良好的平整度和均匀性。