封面
声明
中文摘要
英文摘要
目录
第一章 绪 论
1.1 课题背景
1.2 超声波模式
1.3 声表面波有机膦气体传感器的发展现状
1.4 本文研究的主要内容及意义
第二章 乐甫波器件的基本原理和结构
2.1乐甫波器件的介绍
2.2乐甫波器件的理论
2.3乐甫波器件波导和基片材料
第三章 SSBW器件的设计和制备工艺研究
3.1实验测试仪器及试剂
3.2谐振型声表面波器件的设计原理
3.3谐振型SSBW器件的设计
3.4 SSBW器件的制作工艺流程
3.5 SSBW器件的频谱特性
3.6本章小结
第四章 波导层制备工艺的研究
4.1实验测试仪器及试剂
4.2聚合物波导层制备的传统工艺
4.3旋涂工艺改良的思路
4.4薄膜平整度的比较
4.5改良旋涂工艺的各种控制参数
4.6 PMMA波导层旋涂工艺的最终方案
4.7本章小结
第五章 谐振型乐甫波器件的特性研究
5.1实验测试仪器及试剂
5.2乐甫波器件各项特性
5.3本章小结
第六章 结论及展望
6.1结论
6.2展望
致谢
参考文献
攻硕期间取得的研究成果