一种用于气体传感器的乐甫波器件研制

摘要

为了改善乐甫波器件的温度特性,本文实验研究了覆盖不同膜厚的SU-8声波导层对乐甫波器件的温度系数的影响.采用电极宽度控制单向单相(EWC/SPUDT)结构,设计制作了以ST-90°X石英为基片,结合三种不同厚度的SU-8为声波导层的乐甫波器件.经网络分析仪测试,制作的SU-8膜厚为0.95um的乐甫波器件具有较低的插入损耗(-9.9dB),然后结合恒温箱测量了不同SU-8厚度的器件中心频率在0°C到120°C温度范围内随温度的变化规律,实验拟合了不同SU-8厚度器件的一阶温度系数和二阶温度系数,发现在60°C到80°C温度范围内,SU-8膜厚为0.95um时,其频率温度系数(TCF)最优,仅为0.830ppm/°C.该器件在高温物理或者化学传感器中具有很好的应用潜力.