探针诱导表面等离子体共振光刻装置及其光刻方法

摘要

一种探针诱导表面等离子体共振光刻装置及其光刻方法，该装置由表面等离子体激发装置、探针控制装置、样品台、探针状态检测装置、光学显微镜和控制系统组成。该装置具有光刻所需激光功率低、光刻分辨率高、不易损坏探针、光刻膜层简单的特点，该装置还具有原子力显微镜的功能。