探针诱导表面等离子体共振耦合的光刻方法

摘要

一种探针诱导表面等离子体共振耦合的光刻方法，其特点是：激光从包含有记录介质的待刻样品的基底入射，并在待刻样品的记录介质的表面发生等离子体共振，初步形成激光增强场，然后将金属探针扫描所述的待刻样品表面的激光增强场的近场，该探针针尖所处的近场的局域场进一步增强，在所述的探针针尖下面的记录介质产生光热作用而实现光刻。本发明方法所要求的材料结构简单，可以大大降低刻蚀线宽、提高扫描速度和范围。