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调整装置、激光加工装置、调整方法以及调整程序

摘要

本发明提供调整装置、激光加工装置、调整方法以及调整程序,能高效地自动调整经过了空间调制的光的照射。当控制部(113)对DMD(106)指定校准图案时,来自LED光源(116)的LED光通过DMD(106)进行空间调制后照射到被加工物(102)上。CCD相机(112)对该被加工物(102)进行拍摄。控制部(113)读取所拍摄的图像,计算出将校准图案变换为输出图案的变换参数,该输出图案是对应于校准图案在图像上产生的。当按照从操作部(114)等指定的照射图案,通过DMD(106)对来自激光振荡器(103)的激光进行空间调制后照射到被加工物(102)上时,控制部(113)根据变换参数来调整激光照射。

著录项

  • 公开/公告号CN101403822A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2009-04-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 奥林巴斯株式会社;

    申请/专利号CN200810166958.2

  • 发明设计人 山崎隆一;

    申请日2008-09-28

  • 分类号G02B26/08(20060101);B23K26/00(20060101);

  • 代理机构11127 北京三友知识产权代理有限公司;

  • 代理人黄纶伟

  • 地址 日本东京

  • 入库时间 2023-12-17 21:40:45

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2013-06-19

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G02B26/08 申请公布日:20090408 申请日:20080928

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2010-12-01

    实质审查的生效 IPC(主分类):G02B26/08 申请日:20080928

    实质审查的生效

  • 2009-04-08

    公开

    公开

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