有源矩阵基板、显示装置、电视接收机、有源矩阵基板的制造方法、栅极绝缘膜形成方法

摘要

本发明涉及有源矩阵基板、显示装置、电视接收机、有源矩阵基板的制造方法、栅极绝缘膜形成方法。在本发明的有源矩阵基板中，覆盖各晶体管的栅极电极的栅极绝缘膜在与各栅极电极重叠的部分具有膜厚变小的薄膜部，该薄膜部利用与其重叠的栅极电极作为掩模而形成，并且，各晶体管具有源极电极部和配置在其两侧的第一和第二漏极电极部，所述薄膜部具有相对置的两个边缘，所述第一漏极电极部与其一个边缘重叠，所述第二漏极电极部与另一个边缘重叠。由此，能够提供一种有源矩阵基板，其在基板内的各TFT上具有栅极绝缘膜的薄的部分，其能够抑制各TFT的寄生电容(特别是Cgd)的基板内的偏差，从而实现高显示品质。