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共焦显微中远红外探测器光谱响应测量系统

摘要

一种共焦显微中远红外探测器光谱响应测量系统,包括:一红外光源;一红外单色仪的输入端与红外光源的输出端相连接;一红外共焦显微系统位于红外单色仪输出光路上;一斩波限光单元位于红外共焦显微系统和三维微动平台之间,并位于红外单色仪的输出光路上;一三维微动平台位于红外单色仪的输出光路上;一样品致冷杜瓦固定在三维微动平台上;一前置放大器与样品致冷杜瓦相连接,起到对样品电信号的放大作用;一锁相放大器与前置放大器相连接;一控制计算机与锁相放大器和红外单色仪相连接,控制锁相放大器和红外单色仪实施测试过程,同时采集由锁相放大器和红外单色仪输入的数据信号。

著录项

  • 公开/公告号CN101206141A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2008-06-25

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;

    申请/专利号CN200610165535.X

  • 申请日2006-12-21

  • 分类号G01J3/00;G01J3/02;G01J3/10;G01J3/12;G01J3/18;G01J3/26;G01J3/28;G01S7/497;G01S17/88;G01S17/89;G01S17/95;

  • 代理机构中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人汤保平

  • 地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号

  • 入库时间 2023-12-17 20:19:29

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2010-03-24

    发明专利申请公布后的视为撤回

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2008-08-20

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2008-06-25

    公开

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