公开/公告号CN101206141A
专利类型发明专利
公开/公告日2008-06-25
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;
申请/专利号CN200610165535.X
申请日2006-12-21
分类号G01J3/00;G01J3/02;G01J3/10;G01J3/12;G01J3/18;G01J3/26;G01J3/28;G01S7/497;G01S17/88;G01S17/89;G01S17/95;
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人汤保平
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号
入库时间 2023-12-17 20:19:29
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2010-03-24
发明专利申请公布后的视为撤回
发明专利申请公布后的视为撤回
2008-08-20
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-06-25
公开
公开
机译: 共焦显微镜的光学布置,共焦显微镜和操作共焦显微镜的方法
机译: 共焦显微镜,共焦显微镜操作方法,共焦显微镜操作程序以及可通过计算机读取的记录介质和记录设备
机译: 使用彩色共焦高度传感器和显微镜的沟槽测量系统