金属膜和金属布线图案的形成方法、金属膜和金属布线图案形成用底层组合物以及金属膜

摘要

本发明涉及一种金属膜的形成方法，该方法包括：将金属膜形成用底层组合物涂布在基板或薄膜上，进行聚合形成有机膜的工序，所述底层组合物含有聚合引发剂和具有酸性基团或其酯基的加成聚合性单体；使有机膜具有的酸性基团或其酯基转变为金属(M1)盐的工序；使用含有金属(M2)离子的水溶液对有机膜进行处理，使酸性基团的金属(M1)盐转变成金属(M2)盐的工序，所述金属(M2)离子的离子化倾向比金属(M1)低；以及将金属(M2)离子还原，在有机膜表面上形成金属膜的工序。本发明还涉及该方法中使用的金属膜形成用底层组合物，以及通过采用该方法形成的金属膜。