金属膜蚀刻液组合物及利用其的导电图案形成方法

摘要

本发明提供一种金属膜蚀刻液组合物及利用其的导电图案形成方法，该金属膜蚀刻液组合物包含蚀刻引发剂、无机酸、有机酸、有机盐以及余量的水，且在常温下，粘度为1～3.3cp。通过使用金属膜蚀刻液组合物，能够形成蚀刻不良减少且具有提高了的均匀性的微细尺寸的导电图案。