一种基于双质量块的三轴微加速度计

摘要

本发明涉及一种基于双质量块的三轴微加速度计，属于微机电系统(MEMS)中的微机械传感器领域。此加速度计有两个质量块组成，外质量块中心具有开口，向外伸出的四组动梳齿与固定于基底的四组定梳齿构成两对差分的梳齿电容器，分别检测X和Y方向的加速度输入，外质量块下的金属电极与外质量块构成平板电容器用于检测Z轴加速度输入；内质量块位于外质量块开口内，由锚点固定在基底上，与其下的金属电极形成检测Z轴加速度的参考电容器。本发明的优点是：(1)质量块由较少的梁支撑，有效地减少运动方向的刚度，从而降低器件的尺寸；(2)内电极和内质量块构成Z轴的参考电容，降低了后续电路的复杂性；(3)有效地减少机械耦合和非线性度。